鼓勵優秀學生修讀本校半導體產業學院相關之碩士學位學程，並培育具創新及專業能力之高階半導體人才，特訂定本獎學金辦法。

1. 本校半導體產業學院之相關碩士班在學學生。
2. 學業成績優異，且學期總平均成績達 80 分以上。
3. 畢業論文研究計畫具半導體創新性或與產學合作計畫高度相關者。
4. 無申請其他校內獎學金申請者。

1. 學業優異獎學金：每學年頒發名額為 2 名，每名學生可獲得獎學金為 NT$ 30,000。
2. 實作優良獎學金：每學年頒發名額為 4 名，每名學生可獲得獎學金金額為 NT$ 20,000。
3. 學程績優獎學金：每學年頒發名額為 6 名，每名學生可獲得獎學金金額為 NT$ 10,000。