儀器工程模組

課程內容涵蓋半導體設備系統架構與運作原理，使學生理解各類製程設備在產線中的角色與功能，並掌握設備與製程之間的相互關係。透過機構設計基礎與工程應用課程，學生將學習設備機構與運動系統的設計邏輯，建立設備工程所需的工程思維。

真空技術與相關系統整合為本模組的重要學習重點之一。學生將理解真空系統在半導體製程中的關鍵性，並學習真空元件、系統配置與運作原理，培養分析與解決設備問題的能力。